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TSI粒子计数器的广泛用途及原理
  • 发布日期:2016-10-25      浏览次数:250
    • TSI粒子计数器是用于测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。TSI粒子计数器可广泛应用于为各省市药检所、血液中心、防疫站、疾控中心、质量监督所等机构、电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工、塑胶、喷漆、医院、环保、检验所等生产企业和科研部门。
      TSI粒子计数器由显微镜发展而来,经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、PCS纳米激光空气粒子计数器的过程,其中因激光空气粒子计数器测试速度快、动态分布宽、不受人为影响等各方面的优势,而成为很多行业的主流产品。
      TSI粒子计数器物污染是许多行业生产及加工工艺中主要的污染来源,准确评价空气洁净度已经成为许多行业生产和产品检测的要求。如在电子行业及芯片制造工业中,TSI粒子计数器气体中微小颗粒物的沉积就会造成电气不良特性甚至更大的破坏。特别是近年来芯片线宽已经达到微米和亚微米级,这就对厂房内的空气洁净度提出了更高的要求。
      TSI粒子计数器就是用于测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。 据估计,我国现有的TSI粒子计数器生产厂家有10余家,国内使用的台件数量应不少于3万台,这些厂家及用户具有很强烈的校准检测需求。要保证空气中尘埃颗粒测量的准确性,首先需要确保TSI粒子计数器本身的准确和可溯源。中国计量院完成的这项研究,建立了标准TSI粒子计数器校准装置,实现了对标准粒子计数器的粒子计数示值误差、粒径档设定相对误差、粒径测量分辨力校准项目的检定和校准,不确定度为6.0%(k=2),优于国外相同计量校准装置的技术水平。同时,他们还建立了工作级粒子计数器校准装置,实现对工作级(实验室用、便携式)粒子计数器粒子计数示值误差的有效校准。 
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